半導(dǎo)體工業(yè)純水制取用的是反滲透工藝還是去離子
在半導(dǎo)體工業(yè)中，超純水被廣泛用于清洗、蝕刻、光刻等各個工藝環(huán)節(jié)。而制取超純水的方法通常有反滲透工藝和去離子技術(shù)兩種。以下是這兩種技術(shù)的詳細(xì)比較：
反滲透工藝
反滲透工藝是一種利用半透膜使水分子通過而鹽分等雜質(zhì)被截留的物理過程。該工藝具有以下優(yōu)點：
高效去除雜質(zhì)：可以去除水中96\~99%左右的鹽物質(zhì)，有效截留水中的有機物、細(xì)菌、離子、污染物等，從而達(dá)到水凈化的目的。
處理量大：適用于大規(guī)模的水處理需求。
操作簡便：工藝流程相對簡單，易于操作和維護。
占地面積小：設(shè)備緊湊，節(jié)省空間。
因此，反滲透工藝可以滿足大多數(shù)半導(dǎo)體工藝的水質(zhì)要求，是半導(dǎo)體工業(yè)純水制取中常用的方法。
去離子技術(shù)
去離子技術(shù)則是利用離子交換樹脂的原理，通過離子交換樹脂去除水中的離子雜質(zhì)。但需要注意的是，水中仍然會存在部分的可溶性的有機物，因此這種方法通常用于對水質(zhì)要求不是特別高的工業(yè)制水。不過，對于一些特殊的水質(zhì)指標(biāo)要求，如高純度液態(tài)化學(xué)品的生產(chǎn)等，可能會采用去離子技術(shù)來保證水質(zhì)。
綜合比較與選擇
在實際應(yīng)用中，半導(dǎo)體工業(yè)純水的制取通常優(yōu)先考慮反滲透工藝。然而，對于某些特殊應(yīng)用或當(dāng)水質(zhì)要求極高時，可能會采用去離子技術(shù)作為補充或替代。此外，還有企業(yè)采用反滲透與去離子技術(shù)相結(jié)合的方式，以進一步提高水質(zhì)。
除了上述兩種主要技術(shù)外，半導(dǎo)體工業(yè)純水制取還可能涉及多介質(zhì)過濾、超濾、EDI（電去離子）等其他技術(shù)。這些技術(shù)各有特點，可以根據(jù)具體的水質(zhì)要求和生產(chǎn)工藝進行選擇和優(yōu)化組合。
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2024年11月07日
