滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)全階段的超純水需求
在高新科技領(lǐng)域，特別是半導(dǎo)體生產(chǎn)中，超純水扮演著至關(guān)重要的角色。其水質(zhì)直接影響到半導(dǎo)體產(chǎn)品的良品率和生產(chǎn)效率，因此，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)全階段的超純水需求，需要采用專(zhuān)業(yè)的超純水工藝。
一、超純水工藝概述
超純水工藝是通過(guò)一系列精細(xì)的處理步驟，將普通水中的雜質(zhì)、電解質(zhì)、有機(jī)物、微生物和溶解氣體等去除，以達(dá)到超純水的標(biāo)準(zhǔn)。這一過(guò)程通常需要經(jīng)過(guò)多步處理，包括預(yù)處理、反滲透、電去離子（EDI）、拋光混床等。
1. 預(yù)處理：
通過(guò)多介質(zhì)過(guò)濾、活性炭吸附等手段，去除水中的懸浮物、膠體、有機(jī)物等雜質(zhì)。
軟化處理，降低水中的硬度離子含量。
2. 反滲透：
利用反滲透膜的選擇透過(guò)性，將水中的溶解性鹽類(lèi)、有機(jī)物、細(xì)菌等大部分去除。
反滲透膜具有水滲透效果好、離子截留率高、抗污染能力強(qiáng)的特點(diǎn)。
3. 電去離子（EDI）：
利用電場(chǎng)作用，使水中的離子通過(guò)離子交換膜進(jìn)行遷移和去除。
EDI技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)帶電荷運(yùn)行，加快離子遷移速度，提高脫鹽率。
4. 拋光混床：
作為超純水設(shè)備的末端工藝，進(jìn)一步去除水中的微量雜質(zhì)，確保出水水質(zhì)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。
二、高新科技在超純水工藝
百惠浦環(huán)保作為國(guó)內(nèi)超純水領(lǐng)域的代表性企業(yè)，通過(guò)技術(shù)研發(fā)和工藝創(chuàng)新，成功滿足了半導(dǎo)體生產(chǎn)全階段的超純水需求。
1. 先進(jìn)的制備工藝：
涵蓋了多介質(zhì)過(guò)濾、活性炭吸附、離子交換、反滲透膜、紫外線殺菌、紫外線TOC去除、電滲析、超濾、納濾、真空脫氣塔、膜脫氣等超過(guò)18項(xiàng)專(zhuān)業(yè)處理工藝環(huán)節(jié)。
通過(guò)8次增壓提升，確保產(chǎn)水水質(zhì)接近絕對(duì)純度，電導(dǎo)率無(wú)限接近18.24MΩ的理論極限值。
2. 一體化智能超純水系統(tǒng)：
系統(tǒng)應(yīng)用場(chǎng)景多元，裝備即接即用，具備遠(yuǎn)程智能運(yùn)維功能。
模塊化設(shè)計(jì)使得系統(tǒng)便于移動(dòng)和快速部署，輕松嵌入各種生產(chǎn)場(chǎng)景。
智能化運(yùn)維，自動(dòng)運(yùn)行，無(wú)人值守，大幅提升了運(yùn)維效率。
3. 廢水處理和回用水技術(shù)：
采用多級(jí)化學(xué)混凝、氨氮吹脫和生物處理等多項(xiàng)工藝，高效去除芯片廢水中的復(fù)雜污染物。
結(jié)合先進(jìn)的回用水處理技術(shù)，實(shí)現(xiàn)水資源循環(huán)利用，項(xiàng)目水平衡設(shè)計(jì)使得全廠用水回收率高達(dá)90%。
三、超純水在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的應(yīng)用
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，超純水被廣泛應(yīng)用于晶圓沖洗、化學(xué)品稀釋等多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其水質(zhì)與半導(dǎo)體的良品率直接相關(guān)，因此，對(duì)超純水的質(zhì)量把控異常嚴(yán)格。
1. 晶圓沖洗：
使用超純水對(duì)晶圓進(jìn)行沖洗，可以去除晶圓表面的雜質(zhì)和污染物，確保晶圓表面的潔凈度。
2. 化學(xué)品稀釋?zhuān)?/span>
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，許多化學(xué)品需要使用超純水進(jìn)行稀釋。超純水的純凈度可以確保化學(xué)品的稀釋比例準(zhǔn)確，從而提高半導(dǎo)體的生產(chǎn)質(zhì)量和效率。
高新科技超純水工藝在半導(dǎo)體生產(chǎn)全階段的應(yīng)用中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。通過(guò)不斷的技術(shù)研發(fā)和工藝創(chuàng)新，可以滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)超純水的高品質(zhì)需求，推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展和進(jìn)步。
2024年10月16日
